ASTM F951-01

Standard Test Method for Determination of Radial Interstitial Oxygen Variation in Silicon Wafers

NORMA vydána dne 10.1.2002

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1739.30 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F951-01
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.1.2002
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F951-01 :

Keywords:
infrared transmission, interstitial oxygen, oxygen, radial variation, silicon, uniformity, variation, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)