NORMSERVIS s.r.o.

ASTM F928-02

Standard Test Methods for Edge Contour of Circular Semiconductor Wafers and Rigid Disk Substrates (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 10.1.2002

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1526.00 CZK)
Anglicky -
Tištěné (1526.00 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F928-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.1.2002
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F928-02 :

Keywords:
contour, edge contour, gallium arsenide, optical comparator, projection microscope, rigid disk, semiconductor, silicon, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)