Test Method for Measurement of Rotational Acceleration of a Wafer for Photoresist Spin Coating
NORMA vydána dne 1.1.1996
Označení normy: ASTM F907-85E01R92
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.1996
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM