Test Method for Measurement of Rotational Acceleration of a Wafer for Photoresist Spin Coating (Withdrawn 1997)
Označení normy: ASTM F907-85(1992)
Poznámka: NEPLATNÁ
Přibližná hmotnost: 300 g (0.66 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM