Practice for Detection of Defects in Spin-Coated Resist (Withdrawn 1996)
Označení normy: ASTM F863-84(1992)E01
Poznámka: NEPLATNÁ
Počet stran: 2
Přibližná hmotnost: 6 g (0.01 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM