Standard Test Methods for Measuring Crystallographic Orientation of Flats on Single Crystal Silicon Wafers by X-Ray Techniques (Withdrawn 2003)
NORMA vydána dne 10.12.2002
Označení normy: ASTM F847-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2002
Počet stran: 8
Přibližná hmotnost: 24 g (0.05 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
crystallographic orientation, flats, Laue defraction, silicon, single crystal, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)