ASTM F84-02

Standard Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafers With an In-Line Four-Point Probe (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 10.12.2002

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1899.10 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F84-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2002
Počet stran: 14
Přibližná hmotnost: 42 g (0.09 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F84-02 :

Keywords:
four-point probe, four-probe, resistivity, semiconductor, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)