ASTM F81-01

Standard Test Method for Measuring Radial Resistivity Variation on Silicon Wafers (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 10.6.2001

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1706.10 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F81-01
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.6.2001
Počet stran: 9
Přibližná hmotnost: 27 g (0.06 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F81-01 :

Keywords:
four-point probe, resistivity, resistivity variation, semiconductor, silicon, uniformity, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)