ASTM F672-88(1995)e1

Standard Test Method for Measuring Resistivity Profiles Perpendicular to the Surface of a Silicon Wafer Using a Spreading Resistance Probe (Includes all amendments And changes 3/2/2021).

NORMA vydána dne 10.6.2001

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1906.30 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1906.30 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F672-88(1995)e1
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.6.2001
Počet stran: 18
Přibližná hmotnost: 54 g (0.12 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F672-88(1995)e1 :

Keywords:
carrier density profile, profile, resistivity profile, spreading resistance, spreading resistance probe, spreading resistance profile, SRP, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)