ASTM F672-01

Standard Test Method for Measuring Resistivity Profiles Perpendicular to the Surface of a Silicon Wafer Using a Spreading Resistance Probe (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 10.6.2001

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1910.80 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1910.80 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F672-01
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.6.2001
Počet stran: 18
Přibližná hmotnost: 54 g (0.12 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F672-01 :

Keywords:
carrier density profile, profile, resistivity profile, spreading resistance, spreading resistance probe, spreading resistance profile, SRP, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)