Standard Test Method for Measuring Flat Length on Wafers of Silicon and Other Electronic Materials (Withdrawn 2003)
NORMA vydána dne 10.12.1999
Označení normy: ASTM F671-99
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.1999
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
flats, optical comparator, orientation flats, semiconductor, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)