Test Method for Photoresist Cleanness--Filterability (Withdrawn 1996)
Označení normy: ASTM F583-82(1990)E01
Poznámka: NEPLATNÁ
Počet stran: 6
Přibližná hmotnost: 18 g (0.04 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM