ASTM F576-01

Standard Test Method for Measurement of Insulator Thickness and Refractive Index on Silicon Substrates by Ellipsometry (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 10.6.2001

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1870.40 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1870.40 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F576-01
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.6.2001
Počet stran: 9
Přibližná hmotnost: 27 g (0.06 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F576-01 :

Keywords:
dielectric thickness, ellipsometry, index of refraction, insulator thickness, refractive index, silicon dioxide, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)