Standard Test Method for Bow of Silicon Wafers (Withdrawn 2003) (Includes all amendments And changes 8/16/2017).
NORMA vydána dne 10.12.2002
Označení normy: ASTM F534-02a
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2002
Počet stran: 3
Přibližná hmotnost: 9 g (0.02 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
bow, silicon, wafers, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)