ASTM F533-02a

Standard Test Method for Thickness and Thickness Variation of Silicon Wafers (Withdrawn 2003) (Includes all amendments And changes 8/16/2017).

NORMA vydána dne 10.12.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1831.00 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1831.00 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F533-02a
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2002
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F533-02a :

Keywords:
semiconductor, silicon, thickness, thickness variation, total thickness variation, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)