ASTM F533-02

Standard Test Method for Thickness and Thickness Variation of Silicon Wafers

NORMA vydána dne 10.1.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1519.80 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F533-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.1.2002
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F533-02 :

Keywords:
semiconductor, silicon, thickness, thickness variation, total thickness variation, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)