Standard Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafers Using a Spreading Resistance Probe (Withdrawn 2003) (Includes all amendments And changes 8/16/2017).
NORMA vydána dne 10.12.2000
Označení normy: ASTM F525-00a
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2000
Počet stran: 14
Přibližná hmotnost: 42 g (0.09 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
calibration, epitaxial layer, resistivity, silicon, spreading resistance, spreading resistance probe, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)