Standard Practice for Unaided Visual Inspection of Polished Silicon Wafer Surfaces
NORMA vydána dne 10.12.1997
Označení normy: ASTM F523-93(1997)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.1997
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
Polished silicon wafers/slices, Visual examination-electronic components/devices, wafers (silicon)-polished, unaided visual inspection, practice,, Silicon semiconductors-slices/wafers, slices (polished)-unaided visual inspection, practice, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)