ASTM F523-02

Standard Practice for Unaided Visual Inspection of Polished Silicon Wafer Surfaces (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 10.12.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1728.00 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F523-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2002
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F523-02 :

Keywords:
collimated light, defects, high-intensity light, particle, polished, silicon, visual inspection, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)