
Test Method for Detection of Oxidation Induced Defects in Polished Silicon Wafers (Withdrawn 1998)
Označení normy: ASTM F416-94
Poznámka: NEPLATNÁ
Počet stran: 11
Přibližná hmotnost: 33 g (0.07 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)