Standard Test Method for Thickness of Heteroepitaxial or Polysilicon Layers (Withdrawn 2002) (Includes all amendments And changes 2/18/2021).
NORMA vydána dne 10.12.2000
Označení normy: ASTM F399-00a
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2000
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
epi, epitaxial, layer thickness, poly, polysilicon, profilometer, step height, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)