ASTM F3192-16

Standard Specification for High-Purity Copper Sputtering Target Used for Through-Silicon Vias (TSV) Mettalization (Withdrawn 2023)

NORMA vydána dne 1.9.2016

Anglicky -
Elektronické PDF (1790.00 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1790.00 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F3192-16
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.9.2016
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F3192-16 :

Keywords:
high-purity copper, sputtering target, TSV metallization,, ICS Number Code 25.220.40 (Metallic coatings)