ASTM F3166-16

Standard Specification for High-Purity Titanium Sputtering Target Used for Through-Silicon Vias (TSV) Metallization (Withdrawn 2023)

NORMA vydána dne 1.5.2016

Anglicky -
Elektronické PDF (1790.30 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1790.30 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F3166-16
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.5.2016
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F3166-16 :

Keywords:
high-purity titanium, sputtering target, TSV metallization,, ICS Number Code 25.220.40 (Metallic coatings)