
Standard Guide for Measuring Characteristics of Sapphire Substrates
NORMA vydána dne 1.5.2004
Označení normy: ASTM F2358-04
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.5.2004
Počet stran: 7
Přibližná hmotnost: 21 g (0.05 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
backside processing, compound semiconductors, flatness, form, front-to-front deviation (FFD), measurement, restrained, sag, sapphire, sapphire substrates, sori, taper, total thickness variation (TTV), unrestrained, ICS Number Code 25.100.70 (Abrasives)