Standard Practices for Monitoring Non-Contact Dielectric Characterization Systems Through Use of Special Reference Wafers (Withdrawn 2003)
NORMA vydána dne 10.1.2002
Označení normy: ASTM F2166-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.1.2002
Počet stran: 7
Přibližná hmotnost: 21 g (0.05 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
dielectric tester, dielectric trap, effective charge, electrical dielectric thickness, flatband voltage, interface trap, line corona, mobile charge, point corona, ICS Number Code 19.080 (Electrical and electronic testing)