
Standard Test Method for Measuring Nitrogen Concentration in Silicon Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry (Withdrawn 2003)
NORMA vydána dne 10.10.2001
Označení normy: ASTM F2139-01
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.10.2001
Počet stran: 6
Přibližná hmotnost: 18 g (0.04 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
nitrogen concentration, secondary ion mass spectrometry, silicon, SIMS, ICS Number Code 71.040.50 (Physicochemical methods of analysis)