ASTM F2113-01e1

Standard Guide for Analysis and Reporting the Impurity Content and Grade of High Purity Metallic Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications (Includes all amendments And changes 8/16/2017).

NORMA vydána dne 10.6.2001

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1574.30 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1574.30 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F2113-01e1
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.6.2001
Počet stran: 2
Přibližná hmotnost: 6 g (0.01 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F2113-01e1 :

Keywords:
electronics, purity analysis, purity grade, sputtering, target, thin film, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)