ASTM F2113-01(2007)

Standard Guide for Analysis and Reporting the Impurity Content and Grade of High Purity Metallic Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications

NORMA vydána dne 1.6.2007

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1574.30 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1574.30 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F2113-01(2007)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.6.2007
Počet stran: 2
Přibližná hmotnost: 6 g (0.01 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F2113-01(2007) :

Keywords:
electronics, purity analysis, purity grade, sputtering, target, thin film, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)