ASTM F1894-98(2003)

Test Method for Quantifying Tungsten Silicide Semiconductor Process Films for Composition and Thickness

NORMA vydána dne 10.5.1998

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1765.70 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1894-98(2003)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.5.1998
Počet stran: 7
Přibližná hmotnost: 21 g (0.05 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1894-98(2003) :

Keywords:
analysis of tungsten silicide, backscattering analysis, composition, metallization films, quantitative analysis, RBS, Wsix, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)