Standard Specification for High Purity Titanium Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications
NORMA vydána dne 15.6.2008
Označení normy: ASTM F1709-97(2008)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 15.6.2008
Počet stran: 3
Přibližná hmotnost: 9 g (0.02 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
coating, sputtering, target, thin film, titanium, Electronic materials/applications--specifications, Electronic thin-film applications--specifications, High-purity titanium, Sputtering process/targets--specifications, Thin film applications, Titanium sputtering targets, Titanium (Ti)/alloys--specifications, ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices)