
Standard Specification for High Purity Titanium Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications
NORMA vydána dne 10.12.2002
Označení normy: ASTM F1709-97(2002)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2002
Počet stran: 3
Přibližná hmotnost: 9 g (0.02 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
coating, sputtering, target, thin film, titanium, ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices)