ASTM F1621-96

Standard Practice for Determining the Positional Accuracy Capabilities of a Scanning Surface Inspection System (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 1.1.1996

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1753.30 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1753.30 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1621-96
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.1996
Počet stran: 8
Přibližná hmotnost: 24 g (0.05 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1621-96 :

Keywords:
Localized light scattering, Particle analysis, Particle counting, Positional accuracy, Scanning surface inspection system (SSIS), SSIS (scanning surface inspection system), positional accuracy capabilities-scanning surface inspection system, (SSIS), practice,, Silicon semiconductors-slices/wafers, positional accuracy capabilities,emscanning surface inspection system, (SSIS), practice,,Order Form, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)