ASTM F1620-96

Standard Practice for Calibrating a Scanning Surface Inspection System Using Monodisperse Polystyrene Latex Spheres Deposited on Polished or Epitaxial Wafer Surfaces (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 1.1.1996

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1753.30 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1753.30 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1620-96
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.1996
Počet stran: 6
Přibližná hmotnost: 18 g (0.04 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1620-96 :

Keywords:
Calibration-semiconductor analysis instrumentation, Multipoint size calibration, Particle counting, Particle size calibration, Polystyrene latex spheres (PSL), PSL (polystyrene latex spheres), Scanning surface inspection system (SSIS), Silicon semiconductors-slices/wafers, SSIS (scanning surface inspection system), scanning surface inspection system (SSIS)-size calibration, using, monodisperse polystyrene latex spheres (PSL) deposited on