ASTM F1618-96

Standard Practice for Determination of Uniformity of Thin Films on Silicon Wafers

NORMA vydána dne 1.1.1996

Anglicky -
Elektronické PDF (1765.70 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1618-96
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.1996
Počet stran: 7
Přibližná hmotnost: 21 g (0.05 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1618-96 :

Keywords:
dielectric layers, epitaxial layers, ion implant, metal films, sampling plans, semiconductor, silicon, thin films, uniformity, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)