Standard Test Method for Measuring Surface Sodium, Aluminum, Potassium, and Iron on Silicon and EPI Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry (Withdrawn 2003)
NORMA vydána dne 10.5.1998
Označení normy: ASTM F1617-98(2002)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.5.1998
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
aluminum, iron, potassium, silicon, SIMS, sodium, surface contamination, ICS Number Code 77.040.30 (Chemical analysis of metals)