ASTM F1617-98

Standard Test Method for Measuring Surface Sodium, Aluminum, Potassium, and Iron on Silicon and EPI Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry

NORMA vydána dne 10.5.1998

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1765.70 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1765.70 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1617-98
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.5.1998
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1617-98 :

Keywords:
aluminum, iron, potassium, silicon, SIMS, sodium, surface contamination