NORMSERVIS s.r.o.

ASTM F154-02

Standard Guide for Identification of Structures and Contaminants Seen on Specular Silicon Surfaces (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 10.1.2001

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1910.80 CZK)
Anglicky -
Tištěné (1910.80 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F154-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.1.2001
Počet stran: 13
Přibližná hmotnost: 39 g (0.09 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F154-02 :

Keywords:
contaminant, defects, dislocation, epitaxial, fracture, preferential etch, scratch, shallow pit, silicon, slip, stacking fault, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)