ASTM F1530-94

Standard Test Method for Measuring Flatness, Thickness, and Thickness Variation on Silicon Wafers by Automated Noncontact Scanning

NORMA vydána dne 1.1.1994

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1746.10 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1746.10 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1530-94
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.1994
Počet stran: 7
Přibližná hmotnost: 21 g (0.05 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1530-94 :

Keywords:
Flatness-semiconductors, Noncontact technique, Nondestructive evaluation (NDE)-semiconductors, Probe methods, Silicon semiconductors-slices/wafers, Silicon semiconductors-slices/wafers, Thickness-semiconductors, Thickness variation, Wafers, silicon wafers-flatness/thickness/thickness variation, by automated, noncontact scanning, test, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)