ASTM F1530-02

Standard Test Method for Measuring Flatness, Thickness, and Thickness Variation on Silicon Wafers by Automated Noncontact Scanning (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 10.12.2002

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1907.30 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1907.30 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1530-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2002
Počet stran: 12
Přibližná hmotnost: 36 g (0.08 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1530-02 :

Keywords:
flatness, noncontact measurement, semiconductor, silicon, thickness, thickness variation, wafers, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)