ASTM F1529-97

Standard Test Method for Sheet Resistance Uniformity Evaluation by In-Line Four-Point Probe with the Dual-Configuration Procedure (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 5.12.1997

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1914.40 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1914.40 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1529-97
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 5.12.1997
Počet stran: 13
Přibližná hmotnost: 39 g (0.09 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1529-97 :

Keywords:
epitaxy, four-point probe, ion implant, metallization, polysilicon, sheet resistance, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)