ASTM F1528-94(1999)

Standard Test Method for Measuring Boron Contamination in Heavily Doped N-Type Silicon Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 10.12.1999

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1530.00 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1530.00 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1528-94(1999)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.1999
Počet stran: 4
Přibližná hmotnost: 12 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1528-94(1999) :

Keywords:
boron, epitaxial substrate, silicon, SIMS, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)