ASTM F1526-95(2000)

Standard Test Method for Measuring Surface Metal Contamination on Silicon Wafers by Total Reflection X-Ray Fluorescence Spectroscopy (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 1.1.2000

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1746.10 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1746.10 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1526-95(2000)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.2000
Počet stran: 7
Přibližná hmotnost: 21 g (0.05 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1526-95(2000) :

Keywords:
contamination, metals, silicone, surface, TXRF, X-ray fluorescence, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)