ASTM F1513-99(2011)

Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications (Withdrawn 2020)

NORMA vydána dne 1.6.2011

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1529.20 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1529.20 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1513-99(2011)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.6.2011
Počet stran: 2
Přibližná hmotnost: 6 g (0.01 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1513-99(2011) :

Keywords:
aluminum, coating, evaporation, sputtering, targets, thin films, vacuum coating, Aluminum electrical conductors (semiconductors), Electronic materials/applications--specifications, Electronic thin-film applications--specifications, Evaporators/evaporation--specifications, Sputtering process/targets--specifications, Targets, Vacuum electronic applications, ICS Number Code 31.200 (Integrated circuits. Microelectronics)