ASTM F1513-99(2003)

Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications

NORMA vydána dne 10.12.1999

Anglicky -
PDF - okamžité stažení (1535.40 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1513-99(2003)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.1999
Počet stran: 2
Přibližná hmotnost: 6 g (0.01 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1513-99(2003) :

Keywords:
aluminum, coating, evaporation, sputtering, targets, thin films, vacuum coating, ICS Number Code 31.200 (Integrated circuits. Microelectronics)