Standard Test Method for Measuring Sori on Silicon Wafers by Automated Noncontact Scanning (Withdrawn 2003)
NORMA vydána dne 1.1.1999
Označení normy: ASTM F1451-92(1999)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.1999
Počet stran: 12
Přibližná hmotnost: 36 g (0.08 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
noncontact measurement, semiconductor, shape, silicon, sori, wafers, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)