Standard Test Method for Determination of Surface Roughness by Scanning Tunneling Microscopy for Gas Distribution System Components
NORMA vydána dne 10.6.1999
Označení normy: ASTM F1438-93(1999)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.6.1999
Počet stran: 10
Přibližná hmotnost: 30 g (0.07 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
Gas distribution systems, Microscopic examination-electronic materials, Roughness, Scanning tunneling microscopy, Semiconductor clean rooms, Stainless steel-gas distribution systems, Surface analysis-electronic components/devices, Texture, Topography, Tunneling, gas distribution system components-surface roughness, by scanning, tunneling microscopy, test, ICS Number Code 17.040.20 (Properties of surfaces)