NORMSERVIS s.r.o.

ASTM F1398-93(1999)

Standard Test Method for Determination of Total Hydrocarbon Contribution by Gas Distribution System Components

NORMA vydána dne 10.6.1999

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1746.70 CZK)
Anglicky -
Tištěné (1746.70 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1398-93(1999)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.6.1999
Počet stran: 10
Přibližná hmotnost: 30 g (0.07 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1398-93(1999) :

Keywords:
Argon, Condensable hydrocarbons, Contamination, Flame ionization detectors (FID), Flow and flow rate-semiconductor applications, Gas distribution systems, Hydrocarbons, Instrumental measurement, Mass flow controller (MFC), Methane (CH[inf]4[reset]) equivalent, Minimum detection limit (MDL), Nitrogen, Noncondensable hydrocarbons, Semiconductor clean rooms, Spectrometry-mass, Spool piece, Stainless steel-gas distribution systems, Total hydrocarbons (THC)