Standard Test Method for Determining Net Carrier Density in Silicon Wafers by Miller Feedback Profiler Measurements With a Mercury Probe (Withdrawn 2003)
NORMA vydána dne 10.12.2002
Označení normy: ASTM F1393-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2002
Počet stran: 8
Přibližná hmotnost: 24 g (0.05 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
depth profile, epitaxial wafers, mercury probe, miller feedback method, net carrier density, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)