Standard Test Method for Determining Net Carrier Density Profiles in Silicon Wafers by Capacitance-Voltage Measurements With a Mercury Probe (Withdrawn 2003)
NORMA vydána dne 10.12.2002
Označení normy: ASTM F1392-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 10.12.2002
Počet stran: 14
Přibližná hmotnost: 42 g (0.09 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM
Keywords:
capacitance-voltage method, carrier density, carrier density profile, depth profile, epitaxial wafers, mercury probe, net carrier density, polished wafers, profiles, resistivity, silicon, single crystal silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)