ASTM F1366-92(2002)

Standard Test Method for Measuring Oxygen Concentration in Heavily Doped Silicon Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry (Withdrawn 2003)

NORMA vydána dne 1.1.1992

Anglicky -
Online zabezpečené PDF (1746.70 CZK)

Anglicky -

Tištěné (1746.70 CZK)

Informace o normě:

Označení normy: ASTM F1366-92(2002)
Poznámka: NEPLATNÁ
Datum vydání normy: 1.1.1992
Počet stran: 5
Přibližná hmotnost: 15 g (0.03 liber)
Země: Americká technická norma
Kategorie: Technické normy ASTM

Anotace textu normy ASTM F1366-92(2002) :

Keywords:
FTIR, oxygen, secondary ion mass spectometry, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)